中電熊貓15.6吋BCE面板成功點亮

7月17日,15.6吋BCE面板在中電熊貓8.5代線成功點亮,中電熊貓2017年重點研發項目“非晶態IGZO BCE制程量產工藝研究”取得突破性進展!這標志著中電熊貓在IGZO技術領域的領先地位進一步確立,必將有力帶動面板產品的高端化,對中國電子、中電熊貓平板顯示產業創新發展具有重要意義。

BCE結構(即背溝道蝕刻型結構)是IGZO TFT器件的一種結構類型。目前,中電熊貓8.5代線IGZO制程技術采用的是TFTESL結構(即刻蝕阻擋型結構),器件所占版圖空間較大,不利于實現更窄的邊框設計和更高的開口率;而BCE結構具有光刻次數少、器件小型化、制造成本低等優點,其技術開發量產有利于降低產品成本、實現高端產品開發、增強IGZO技術的市場競爭力。

此次15.6吋BCE面板成功點亮,標志著中電熊貓8.5代線IGZOTFT器件從ESL結構向BCE結構的重大轉變,朝著IGZO BCE制程量產邁出了重要一步,將助推中電熊貓產品向更高分辨率的高端產品轉型。

今年2月起,中電熊貓正式啟動“非晶態IGZO BCE制程量產工藝研究”項目,組建項目團隊,開展項目攻關。項目實行分階段閉環管理,定期開展階段性成果測試與評價,實時監控項目進度和質量,先后解決了BCE制程中IGZO薄膜易腐蝕等關鍵性難題,完成了新靶材規格確認、新銅酸燒杯試驗、mask設計、試生產等一系列工作,并于7月17日首次試做即成功點亮, BCE工藝的優化工作也隨后完成。


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